Main Parameters:
四极质谱：德国英福康（INFICON）在线质谱（产地：美国，提供原产地证书及原厂校准测试证书）；
质量数：默认1-100amu；选配1-200amu或1-300amu；
灯丝：镀铱灯丝，2套，一用一备，软件切换；
分辨率：优于0.5ppm（40amu）；
扫描速度：最高可达1.8毫秒/amu，扫描步阶0.1amu；
最小可检测分压：2E-15Torr （4s停留时间）
气体采样流量：默认可低达2SCCM的微流量采样，最低可至0.2SCCM的超微采样量；（相比其它国际品牌，完全避免了大流量采样吸入空气的弊端）
响应速度：可在低达＜2SCCM的微流量采样量下，仍然保持超快速的响应，响应时间＜1秒；（无需大流量采样来提高响应速度）
分流系统：具有，高精度分流系统是快速灵敏响应速度的保证。
软离子化功能：离子源电子能量软件可调，提供更高分辨率。
涡轮分子泵：爱德华，抽速85L/s，100KRPM，极限真空1*10E-12mbar；
干泵：涡旋干泵，抽速20L/S，极限真空1*10E-1mbar；
质谱腔体：一体式腔体，非焊接式，含加热烘烤，烘烤温度150℃；
进样接口：1.2米内洁净钝化不锈钢毛细管进样装置，防冷凝防堵塞保护结构；采样压力默认100±10kpa，负压或高压采样可定制；
软件分析系统：德国英福康（INFICON），英文；通讯接口TCP/IP。
规格：H510mm*L520mm*W225mm，Weight30kg，高集成度。